- 轉載單位：綜合規劃組
全球半導體產業不斷迎來革命性突破！國內設備業者正式推出全球第一套採用LED光源投影曝光機的半導體晶片解決方案，目標節能、大幅減少汞污染，並提升曝光效率。同時宣布將在台灣量產製造曝光機，以及配套的塗布顯影和檢測設備，期盼為台灣帶來競爭優勢和市場機會。
晶片製作過程中，把電路圖印在晶片上，以利後續將晶片蝕刻及金屬濺鍍成電路，曝光機是積體電路製造的關鍵裝置。國內曝光機業者正式推出全球第一套採用LED光源投影曝光機的半導體晶片解決方案，相較於傳統使用的劇毒汞燈，能耗只有百分之一，節能並減少汞污染，目前已獲得預約生產訂單。
半導體曝光機設備廠董事長胡德立：「我們的技術上未來在台灣，我們現在要在台灣做這個事情，會圍繞在LED的光源這一塊來推進，等於說我們未來是走綠能、節能、無毒的一個生產模式，我認為國家必須要有這樣的技術掌握在自己手上，下一步我們希望能夠再推進到譬如說KrF、DUV，甚至有機會走到EUV，這個就是未來看怎麼樣去演進。」
國際團隊研發成果，這套曝光機設備自研高景深長焦鏡頭配合LED光源，以及塗布顯影、曝光、檢測等三大黃光核心的製程技術，將於台灣設廠生產製造，提升環保與曝光效率，未來還可應用在國防產業發展。
投影曝光機自主技術各國都是國家全力支持的項目，業者看好市場需求上，至少有一萬台左右的汞光源曝光機需要被汰換，未來亞微米設備在AI趨勢下，需求量將跟著水漲船高。
半導體曝光機設備廠技術長Thomas Smith：「未來我們的設備是要遠離浪費能源遠離使用汞，它更便宜、更環保、對環境更好，實際上在晶圓上效果更好，所以是完全嶄新而不同以往的。」
與美國、日本、荷蘭、中國等投影曝光機公司競爭，業者透過高效、環保的新一代半導體生產設備，目標為台灣帶來更多優勢和市場機會，期盼與更多合作夥伴共同推動半導體產業發展。
新聞出處：非凡新聞
資料來源：非凡新聞
