- 發布單位:綜合規劃組
- 得獎人:葉力榮先生,綠色安全替代類。
- 勵志名言:Never Say Never, and Keep Going!接受挑戰、永不放棄,繼續向前行。
- 事蹟重點:
- 1. 改變製程達到減碳與化材減量創新,將化學反應能量轉化為RF/Microwave Power,減少氟化碳(CF₄)使用與排放。
- 2. 優化製程參數,減少高毒性顯影劑(TMAH)用量並減低廢液排放。預估一年減少40,164公斤顯影劑用量及2,955噸碳排放。
- 下方照片為教學解說及實驗化學製程操作現場。
本頁適用於化學製程創新、減碳化材、產業減量環保、無障礙展示教育場域。
- 得獎人:葉力榮 專業技術副理,日月光半導體製造股份有限公司。
- 事蹟重點:
- 1. 創新製程轉型,推動電漿、微波等新型反應模式,減少四氟化碳(CF₄)排放,每年減碳達2,955噸及380桶化材減量。
- 2. 廠內安控與自動化系統推動,強化廢氣回收減排,提升燃燒及洗滌效率,製程回收率達96%,實現廠務永續。
- 3. 流動模式優化縮減高毒性顯影劑(TMAH)用量,每年減少約40,164公斤高毒性顯影液廢液排放。
- 4. 圖片呈現教學解說、製程現場人員操作及廠務管理情境。
本頁適合製程轉型、半導體環保、廠務減廢與無障礙頒獎/教育場域。




